Nov 14, 2016
Rasprašenje meta za magnetron istrošenog rasprašenje je novu vrstu fizičkog pare taloženje (PVD) metoda.
U prskanje meta (katoda) ortogonalna magnetsko polje, električno polje i anoda, u visoki vakuum komora ispunjen sa inertnih plinova potrebno (obično Ar), pod djelovanjem električnog polja, Ar ionizacije plina u iona i elektrona, cilj s određenim negativni tlak po rad plinsko polje iz elektronske mete od ionizacije vjerojatnost povećanja, formiranje visoke gustoće plazme u blizini katode , uloga Ar iona u djeluje Lorentzova sila ubrzano prema površini cilja s vrlo velikom brzinom bombardiranjem mete površine, meta je kralješka atoma slijedi veća Kinetička energija zamah prijenos princip iz meta površinu supstrata deponirani film.
Pršte premaz uglavnom koristi: ploha pravokutna ploča otkriti, premaz staklarstvo (uglavnom uključujući arhitektonsko staklo, Automobilska stakla, optička stakla, film, itd.) tanki film solarne Inženjerstvo površina (dekoracija andamp; Alata), (magnetske i optičke snimanje medij), mikro elektronika, Automobilska rasvjeta, dekorativni premaz itd...
U rotirajuće target polju 09 godina, prvi je predložio koncept integriranog molibdena cijev meta, prepoznale su domaćih i stranih kupaca. Molibden prskanje meta može pružiti sljedeće dimenzije prema potrebama korisnika:
Avion cilja: jedan: manji ili jednak 260kg, čistoća: 99,97%
Rotacijski meta - meta cijev: OD: 140-180mm; ID: 125-Phi Phi 135 mm. dužina je manja od ili jednaka 3300mm, čistoća je 99,97%.
kemijski sastav
钼含量 | 其它元素含量总和 | 每种元素含量 |
---|---|---|
≥99.97% | ≤0.03% | ≤0.001% |